背照式CCD光譜儀提供穩(wěn)定、快速、分析解決方案
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背照式CCD光譜儀采用可編程脈沖全數(shù)字光源、高速CCD全譜采集系統(tǒng)、優(yōu)化設(shè)計的光路等新技術(shù),集合光譜自校正、單火花采集技術(shù)和光譜延時采集技術(shù),高可靠性激發(fā)臺設(shè)計。背照式CCD光譜儀為用戶提供穩(wěn)定、快速、的金屬材料分析解決方案。運營成本低,安全可靠。應(yīng)用于冶金、鑄造、金屬加工等行業(yè)的爐前及實驗室定量分析。
背照式CCD光譜儀技術(shù),廣泛應(yīng)用于冶金、鑄造、機械、汽車制造、航空航天、兵器、金屬加工等領(lǐng)域的生產(chǎn)工藝控制,爐前化驗,中心實驗室成品檢驗。
CCD,是英文ChargeCoupledDevice即電荷耦合器件的縮寫,背照式CCD光譜儀是在MOS晶體管電荷存儲器的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,突出的特點是以電荷作為信號,而不是以電流或電壓作為信號的。在P型或N型硅單晶的襯底上生長一層厚度約為120~150nm的SiO2層,然后按一定次序沉積m行n列個金屬電極或多晶硅電極作為柵極,柵極間隙約2.5μm,于是每個電極與其下方的SiO2和半導(dǎo)體間構(gòu)成了一個MOS結(jié)構(gòu),這種結(jié)構(gòu)再加上輸入、輸出結(jié)構(gòu)就構(gòu)成了m×n位CCD(m>1,n≥1);當(dāng)n=1時,CCD器件被稱為線陣CCD;當(dāng)n>1時,則為面陣CCD。CCD按受光方式分為前感光和背感光兩種。前感光CCD由于正面布置著很多電極,光經(jīng)電極反射和散射,不僅使得響應(yīng)度大大減低(量子效率通常低于50%),也因為多次反射產(chǎn)品的干涉效應(yīng)使光譜響應(yīng)曲線出現(xiàn)馬鞍形的起伏;背感光CCD由于避免了上述問題,因而響應(yīng)度大大提高,量子效率可達到80%以上。